紫外線洗淨機

DUV(Deep Ultraviolet)設備:採用U形低壓水銀燈
Lamp 波長: 254nm/185nm
主要應用LCD基板表面洗淨: 適用世代為G2~G8.5
紫外線臭氧洗淨的主要應用，表面UV光清洗和表面UV光改質。
表面UV光清洗：
利用紫外光以及由其產生的臭氧OZONE，對有機物質所起的光敏氧化
分解作用，以達到去除粘附在物體表面上的有機化合物（碳氫化合物），獲得超潔淨的表面。
表面UV光改質：
利用紫外光照射有機表面，在將有機物分解的同時，254nm波長的紫外光
被物體表面吸收後，將表層的化學結構切斷，光子作用產生原子氧會與被切
斷的表層分子結合，並將之變換成具有高度親水性的官能基（如-OH，-CHO，
-COOH），從而提高表面的浸潤性。
主要應用：
石英/玻璃製品的表面清洗：液晶面板，電漿電視屏幕，彩色濾光片，光罩，
菱鏡，透鏡，反射鏡，平板電視等。