紫外线洗净机

DUV(Deep Ultraviolet)设备:采用U形低压水银灯
Lamp 波长: 254nm/185nm
主要应用LCD基板表面洗净: 适用世代为G2~G8.5
紫外线臭氧洗净的主要应用，表面UV光清洗和表面UV光改质。
表面UV光清洗：
利用紫外光以及由其产生的臭氧OZONE，对有机物质所起的光敏氧化
分解作用，以达到去除粘附在物体表面上的有机化合物（碳氢化合物），获得超洁净的表面。
表面UV光改质：
利用紫外光照射有机表面，在将有机物分解的同时，254nm波长的紫外光
被物体表面吸收后，将表层的化学结构切断，光子作用产生原子氧会与被切
断的表层分子结合，并将之变换成具有高度亲水性的官能基（如-OH，-CHO，
-COOH），从而提高表面的浸润性。
主要应用：
石英/玻璃制品的表面清洗：液晶面板，电浆电视屏幕，彩色滤光片，光罩，
菱镜，透镜，反射镜，平板电视等。